교육일정및주제
SEMI 사업부 교육: XRD 기본 및 박막 측정법 이해
| 차수 | 날짜/시간 | 제목 | 개요 | 장소 |
|---|---|---|---|---|
| 1차 | 5월 23일 (금) 오후 3:30-6:00 | XRD 기본 이해 | * 결정구조, 밀러 면/방향지수 및 면간거리 * Bragg 법칙 이해 및 계산 * 분말 XRD 기초 * 회절 강도, 회절피크 소멸규칙 | 동탄사무소 회의실 |
| 2차 | 5월 30일 (금) 오후 3:30-6:00 | X-선 저각입사 측정법: 초박막 측정 | * 박막이란 ?, XRD 박막 측정법 * X-선 흡수/침투깊이 및 X-선 저각입사 ? * X-선 저각입사 측정법 이해 및 응용 * GI-XRD, In-plane XRD, XRR | 동탄사무소 회의실 |
| 3차 | 6월 20일 (금) 오후 3:30-6:00 | 고분해능 XRD (HRXRD) | * 고분해능 XRD란? * 에피층의 변형 이해 * 로킹커브, RSM 이해 및 응용 | 동탄사무소 회의실 |
| 4차 | 6월 27일 (금) 오후 3:30-6:00 | 교육 보완 및 특별 주제 Q&A, TEST | * 교육 보완: 부족 분야 * 특별 주제: 결정립 크기 및 Scherrer Eq. * Si 기판 피크 이해: (002) & (311) * 교육 정리: Q&A, TEST | 동탄사무소 회의실 |